簡要介紹 InP單晶材料作為最重要的化合物半導體材料之一,是生產光通訊中InP基激光二極管(LD),發光二極管(LED)和光探測器等的關鍵材料。
InP單晶基片
InP單晶材料作為最重要的化合物半導體材料之一,是生產光通訊中InP基激光二極管(LD),發光二極管(LED)和光探測器等的關鍵材料,這些器件實現了光纖通信中信息的發射、傳播、放大、接受等功能。InP也非常適用于高頻器件,如高電子遷移率晶體管(HEMT)和異質結雙極晶體管(HBT)等方面由于其本身具有的優越特性,使其在光纖通信、微波、毫米波、抗輻射太陽能電池、異質結晶體管等許多高技術領域有廣泛的應用. InP單晶材料的主要生長方法,包括傳統液封直拉技術(LEC)、改進的LEC技術、氣壓控制直拉技術(VCZ/PC-LEC)/垂直梯度凝固技術(VGF)/垂直布里奇曼技術(VB)等。
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